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Mikrosystemtechnik für Ingenieure
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Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs tragt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinaren Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Au?erdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlagt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-…